Quelle: Nikkei XTECH ↗
TSMCとサムスン、次世代EUVの導入時期表明 インテルやSKと競う
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台湾積体電路製造(TSMC)と韓国Samsung Electronics(サムスン電子)はそれぞれ、次世代のEUV(極端紫外線)露光技術の量産適用時期を発表した。TSMCは2030年からロジック半導体の量産に、サムスン電子は2028年からDRAM(短期記憶用メモリー)の量産に使う。
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